Elipsometri Porosimetri (Ellipsometry Porosimetry) (EP), uygulamaya bağlı düşük basınç (EP) veya atmosferik basınçta (EPA), uçucu bir türün adsorpsiyonu ve desorpsiyonu boyunca malzemenin kalınlığını ve optik özelliklerinin değişimini ölçer .
Elipsometri Porosimetri 10 nm den daha ince film tabakalarının porozitesini (gözenekliliğini) ölçme kapasitesi, ölçüm hızı ve tekrarlanabilir olması nedeniyle benzersiz bir tekniktir.
Elipsometri porosimetre gelenksel bir porositemetre ile karşılaştırıldığında son derece ince film gözenek boyutu ve gözenek boyutu dağılım ölçümü yapabilir.Film gözenekliliği; özellikle düşük k malzemeleri kullanan silikon bazlı teknolojide organik endüstride (kapsüllenmiş OLED’ ler) ve SolGel teknikiğini kullanan kaplama endüstrisinde önemli bir faktördür.
Elipsometri Porosimetri (EP) teknolojisi IMEC tarafından patentlendirilmiş ve Semilab Semiconductor Physics Laboratory lisanslıdır.
Organik bir solventin adsorpsiyon döngüsü sırasında, Elipsometrik Porosimetri (EP) spektroskopik elipsometry (pectroscopic ellipsometry )(SE) ile gözenekli ince film kalınlığı ve optik özelliklerindeki değişimi ölçer. Bu değişiklikler materyaldeki gözeneklerin soğurma tarafından doldurulduğu gibi gerçekleşir.
Adsorpsiyon döngüsü boyunca ölçülen refraktif dizin ve kalınlık davranışından belirli katman özellikleri çıkarılabilir:
-Hidrofobisite (su geçirmezlik) -Hydrophobicity (water penetration)
-Young modülü
–Gözeneklilik
-Gözenek büyüklüğü dağılımı ve karakteristik gözenek büyüklüğü
-Diffüzyon katsayısı
Semilab iki tür adsorpsiyon döngüsü kurulumu önermektedir:
1.Çözücü su ile atmosferik basınçta, (EPA)
2.Metanol, Etanol, Toluen, IPA, Su, vb.) gibi farklı bir çok organik absortiv ile vakum altında (EP).
[metaslider id=”5234″]
EP tekniği ile aşağıdaki ölçümler hassas ve güvenilir bir şekilde yapılabilir.
-Nanopartikül katmanları, metal oksitler veya bariyer katmanalrı bütünlüğü, gözenekli silikon ve Ultra düşük K gibi gözenekli ince filmlerin gözenek boyutu dağılımı ve Young modülü
-Sızdırmazlık verimliliği
-Gözeneklilik
-Kalınlık
-Kırılma endeksi
-Diffüzyon katsayısı
[metaslider id=”5237″]
Kaynak : Azo Materials
